5月18日,中國無機(jī)鹽工業(yè)協(xié)會副會長單位多氟多發(fā)布公告稱,在經(jīng)過臺灣積體電路制造股份有限公司南京工廠(以下簡稱“臺積電”)現(xiàn)場審核和多輪上線測試后,目前正式進(jìn)入臺積電合格供應(yīng)商體系,并于近期開始向臺積電(南京)有限公司批量交付高純電子化學(xué)品材料。
自2015年開始,多氟多以半導(dǎo)體市場8英寸客戶為起點,不斷開拓市場,以電子級氫氟酸為代表的高純電子化學(xué)品銷售量呈現(xiàn)出持續(xù)高速增長的態(tài)勢。目前,產(chǎn)品已成功進(jìn)入美國、韓國等全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體公司的供應(yīng)鏈,并大批量供應(yīng)國內(nèi)多條8英寸和 12英寸半導(dǎo)體芯片產(chǎn)線。
在電子級氫氟酸領(lǐng)域,多氟多現(xiàn)具備年產(chǎn)50000噸電子級氫氟酸的產(chǎn)能,其中半導(dǎo)體級10000噸,已實現(xiàn)批量出口。
在電子級硅烷領(lǐng)域,多氟多子公司浙江中寧硅業(yè)有限公司是首家硅烷國產(chǎn)化企業(yè),是國內(nèi)為數(shù)不多的能將產(chǎn)品同時應(yīng)用于半導(dǎo)體、TFT、光伏行業(yè)和鍍膜玻璃四個行業(yè)的電子級硅烷生產(chǎn)企業(yè),現(xiàn)具備年產(chǎn)4000噸產(chǎn)能。
此外,多氟多目前還掌握了電子級硝酸、電子級硫酸、氨水、四氟化硅、電子級乙硅烷、氟氮混合氣、氨氣等一系列電子化學(xué)品生產(chǎn)工藝,部分產(chǎn)品已經(jīng)實現(xiàn)批量銷售,生產(chǎn)和工藝均在國內(nèi)同行業(yè)中處于領(lǐng)先水平。
為更好地滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對電子化學(xué)品持續(xù)增長的需求,多氟多正在建設(shè)包括年產(chǎn)3 萬噸超凈高純電子級氫氟酸、年產(chǎn)3萬噸超凈高純濕電子化學(xué)品、100噸高純乙硅烷、100噸高純氟氮混合氣、300噸高純四氟化硅等項目,今年下半年將根據(jù)市場情況逐步釋放產(chǎn)能,為國內(nèi)外客戶提供更多更優(yōu)的產(chǎn)品和服務(wù)。
多氟多表示,此次合作將對其電子化學(xué)品發(fā)展戰(zhàn)略產(chǎn)生積極的影響,進(jìn)一步夯實其在半導(dǎo)體先進(jìn)工藝節(jié)點中的產(chǎn)品優(yōu)勢基礎(chǔ)。