四川永晶新材料有限公司擬在沿灘高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)新材料產(chǎn)業(yè)園投資50000萬元，建設(shè)年產(chǎn)15萬噸電子級氫氟酸及0.5萬噸電子級氟化銨溶液生產(chǎn)線。
電子級氫氟酸可被分為EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等級別，其中UP-SSS級別（相當(dāng)于SEMI G5質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，金屬雜質(zhì)要求≤10ppt）的氫氟酸純度最高，是12寸晶圓及更高規(guī)格的電子半導(dǎo)體產(chǎn)品制造環(huán)節(jié)必須用到的關(guān)鍵材料。
據(jù)不完全統(tǒng)計，我國電子級氫氟酸生產(chǎn)企業(yè)約十幾家，產(chǎn)品級別集中在UP-S及以下，能夠達(dá)到半導(dǎo)體所用G5級的企業(yè)僅有幾家，其中已投產(chǎn)的主要是多氟多、湖北興力電子、中巨芯、濱化股份。
多氟多目前擁有電子級氫氟酸產(chǎn)能5萬噸/年，其中G5級別為1萬噸/年，目前在建3萬噸/年產(chǎn)能（UPSSS），計劃2023年建成投產(chǎn)。
濱化股份的電子級氫氟酸項(xiàng)目于2018年7月開始試生產(chǎn)，產(chǎn)品達(dá)到G5等級要求。根據(jù)2021年年報，濱化股份電子級氫氟酸產(chǎn)能為6000噸/年。
湖北興力電子是興發(fā)集團(tuán)成員企業(yè)，引進(jìn)臺灣僑力公司電子級氫氟酸等技術(shù)，在園區(qū)建設(shè)3萬噸/年電子級氫氟酸項(xiàng)目，該項(xiàng)目一期于2021年上半年投產(chǎn)，產(chǎn)能為1.5萬噸/年，產(chǎn)品可以達(dá)到G5級別，已通過國內(nèi)外部分高端市場客戶的測試，實(shí)現(xiàn)批量供應(yīng)。
中巨芯是巨化股份旗下公司，其3萬噸/年ppt電子級氫氟酸擴(kuò)建裝置于2022年順利投料試車，產(chǎn)品達(dá)到G5級別。
