興福電子“集成電路用超高純電子級硫酸生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項目獲中國石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會科技進步一等獎
12月30日，2024中國石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會科技獎勵大會在北京召開。興福電子牽頭完成的“集成電路用超高純電子級硫酸生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項目榮獲2024年度中國石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會科技進步一等獎。
電子級硫酸是芯片產(chǎn)業(yè)用量最大、使用最廣泛、品質(zhì)要求最嚴苛的關(guān)鍵電子化學(xué)品，具有不可替代性。長期以來，我國先進制程芯片用電子級硫酸幾乎依賴進口，其生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)和核心裝備被國外化工巨頭長期壟斷，嚴重制約著我國芯片產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展。
興福電子經(jīng)過多年持續(xù)研究攻關(guān)，開發(fā)了多項具有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高純電子級硫酸及含硫酸蝕刻液成套新技術(shù)并成功實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，解決了我國超高純電子級硫酸以及高性能含硫酸基蝕刻液存在著原料雜質(zhì)含量高、產(chǎn)品純化難度大和關(guān)鍵設(shè)備易腐蝕、蝕刻液性能低等“卡脖子”難題。整體技術(shù)達到國際先進水平，其中微量低價硫化物定向轉(zhuǎn)化技術(shù)處于國際領(lǐng)先水平。該成果打破了國外對超高純電子級硫酸和硫酸基蝕刻液制備技術(shù)的封鎖，率先實現(xiàn)先進芯片用超高純電子級硫酸國產(chǎn)化，為國產(chǎn)芯片供應(yīng)鏈安全提供了重要支撐。
十屆全國人大常委會副委員長顧秀蓮向受到表彰的集體和個人表示祝賀，并對行業(yè)科技工作者提出殷切希望：要以科技創(chuàng)新引領(lǐng)新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展，努力建設(shè)石油和化工現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系；要把高水平自立自強作為工作主線，培育行業(yè)創(chuàng)新發(fā)展新動能。
“從今天受表彰的成果可以看出，技術(shù)創(chuàng)新已成為保障國家能源安全、推動產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級、提升企業(yè)核心競爭力的主要動力。”石化聯(lián)合會黨委書記李云鵬總結(jié)道。他指出，石油和化工行業(yè)要發(fā)揮科技創(chuàng)新的根本支撐作用，加快發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，2025年行業(yè)在科技創(chuàng)新上要重點做好五方面的工作：一是加強原創(chuàng)性引領(lǐng)性科技攻關(guān)，建設(shè)現(xiàn)代化石油化工產(chǎn)業(yè)體系；二是著力編制好“十五五”科技發(fā)展指南，引領(lǐng)行業(yè)科技發(fā)展方向；三是加強技術(shù)交流和推廣，提升科技成果轉(zhuǎn)化能力；四是加強協(xié)同創(chuàng)新，促進產(chǎn)學(xué)研用深度融合；五是培養(yǎng)造就高水平人才隊伍。
本次大會由石化聯(lián)合會副會長傅向升、李彬主持。大會分設(shè)趙永鎬科技創(chuàng)新論壇、化工與新材料創(chuàng)新論壇和油氣技術(shù)創(chuàng)新論壇，近400名行業(yè)科技工作者與會。